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智能化类

POD&Cassette 洗濯机

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POD&Cassette 洗濯机

  • 接纳成熟的冲水及热烘的洗濯方案

  • 利用高波动性产品装载洗濯布局

  • 统一平台支持差别载具的装载与洗濯

  • POD, FOUP, Cassette, 种种非规矩的parts等

  • 高洗濯服从(12UPH for POD)

  • 测试方法:

    洗濯后安排wafer静置,然后测试增长particle


Sassette六轴丈量仪

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Sassette六轴丈量仪

  • 多种规格Cassette兼容

  • 测试点位可设置装备摆设

  • 测试参数可设置装备摆设

  • 主动天生测试陈诉

  • 测试有记载可盘问

  • FAB占用空间小

  • Recipe设定保管,可疾速导入


RSP Stock

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RSP Stock

大存储容量----1100+

 RSP ID获取;

 RSP窗口放入,主动传送&就近存储;

 RSP拿取方法---MES下令或当地终端操纵 

宁静步伐

 夹爪力度感到,制止失片或夹坏RSP RSP入位感到,确保RSP安排正确 

办理体系功效:

 MES接口功效,及时更新RSP存储地位 

 吸收MES指令,完成RSP取放

兼容品种:

  • RSP

  • POD 

  • Foup 

  • BOX

小情况

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小情况


· 用于wafer Start,Mask Room以及其他必要表露wafer/Mask 场所;
· 干净品级可从Class100污染到Class1;
· 化学过滤率可达90%,继续12个月(需增长化学过滤器);
· 具情况静电去除功效,掩护产品免受ESD破坏;
· 可依据实践园地举行长宽高定制;
· 可增设门禁体系,设置收支职员权限;

推片器

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推片器


· 抗静电质料;推杆利用耐磨质料;

· Cassette 在位感到,避免误操纵;
· 兼容绝大少数cassette范例;
· 支持随启随停;
· 可依据客户详细要求定制;

洗濯机

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洗濯机


· 接纳成熟的冲水及热烘的洗濯方案;
· 利用高波动性产品装载洗濯布局;
· 统一平台支持差别载具与洗濯;


电子货架

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电子货架


· 储位光感到设计,波动性与牢靠性高;

· 支持表现器,储位表现屏设计,无效通报储物信息;

· 支持smart tag & RFID & Barcode;

· 支持多协议MES集成(Web Service,SECS等);