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载具类

SMIF POD系列

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SMIF POD系列


· 切合SEMI尺度;
· 实用6"/8" Cassette;
· 成熟的布局,产品牢靠性高;
· 新质料使用,进步干净掩护功能;
· 普遍产品组合,满意客户差别化需求;

存储盒系列

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存储盒系列


· 实用6"/6.3"/8" Cassette;
· 抗静电耐打击材质,掩护晶圆;
· 可堆叠寄存,节流空间;
· 可选配留言袋,标识卡牌;


运输盒系列

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运输盒系列


· 切合SEMI尺度;
· 实用4"/6"/8" 晶圆运输;
· 干净PP质料;
· 可堆叠寄存,节流空间;

Cassette系列

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Cassette系列


· 切合SEMI尺度;
· 实用4"/6"/6.3"/8"晶圆;
· 容量 12pcs/13pcs/25pcs;
· PP/PC/PBT/PEEK抗静电材质;
· 可选装RFID等;
· 支持全定制;

PFA Cassette系列

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PFA Cassette系列


· 实用4"/6"/8" 晶圆;
· 容量 25pcs;
· 适配提手;

金属 Cassette系列

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金属 Cassette系列


· 实用4"/6"/8"/12"晶圆;
· 容量 13pcs/25pcs/26pcs;
· 耐低温烘烤;
· 支持全定制;

光罩盒系列

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光罩盒系列


· 切合SEMI尺度;
· 实用5"/6"光罩;
· 容量 1 pcs;
· 抗静电耐磨材质;


光罩夹系列

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光罩夹系列


· 抗静电耐磨材质;
· 实用6"光罩;
· I型/Y型可选;
· 支持全定制;



晶圆吸笔系列

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晶圆吸笔系列


· 实用4"/6"/8"/12"晶圆;

· 抗静电耐磨材质;

· 支持全定制;



Frame Cassette

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Frame Cassette


· 切合SEMI尺度;
· Frame实用6"/8"/12"晶圆;
·
Cassette实用 6"/8"/12" Frame;